پديد آور :
معتمد اكتسابي ، علي
عنوان :
روش هاي نوين در تكنولوژي ساخت لايه ها : مقدمه اي بر تكنيك هاي خلاء ، پراكنش ...
شرح پديد آور :
تاليف : علي معتمد اكتسابي
اطلاعات نشر :
تهران : سازمان انرژي اتمي
مشخصات ظاهري :
197+IIIص.مصور،نمودار
فروست :
( انتشارات سازمان انرژي اتمي ايران ؛ 1)
يادداشت :
مقدمه اي بر تكنيك هاي خلاء، پراكنش، پلاسما و كاربدهاي آن، چشمه ها و پرتوهاي يوني
موضوع :
خلاء -- كاربردهاي صنعتي
شناسه هاي افزوده - جزئيات :